- Главная
- Об отделе
- Структура
- Лаборатория акусто- и электрооптики
- Лаборатория гидродинамики дисперсных систем
- Лаборатория ионно-кластерных технологий
- Лаборатория конверсионных технологий
- Лаборатория молекулярной кинетики
- Лаборатория низкотемпературной плазмы
- Лаборатория синтеза функциональных материалов
- Лаборатория редкоземельных материалов
- Лаборатория теплообмена и топливной энергетики
- Центр коллективного пользования
- Персоналии
- Оборудование
- ЛЭМПУС - 1
- ЛЭМПУС - 2
- КЛИУС
- Плазмохимический стенд
- Гидродинамический стенд
- Хромато-масс-спектрометр
- ЦХРС
- Гелиевый течеискатель MSE - 2000A
- Эксимерный лазер Coherent COMPexPro 50
- Атомно-адсорбционный спектрометр
- Атомно-эмиссионный спектрометр
- ИК-Фурье спектрометр
- Планетарная мельница серии
- Рентген-флюоресцентный энергодисперсионный спектрометр
- Система точной ионной полировки (PIPS) GATAN Model 691
- Универсальный Газовый анализатор UGA-200
- Хроматограф газовый Agilent 7890A CG
- Электронный микроскоп ТМ-1000
- Микровизор μVizo®-101
- Атомно-силовой микроскоп
- Установка роста кристаллов методом управляемого теплового потока
- Установка роста кристаллов низкоградиентным методом
- Установка поликристаллического синтеза
- Микросайзер-201А
- Ocean Optics USB4000-XR1-ES
- SteREO Discovery.V20
- Изостатический пресс AIP6-30H
- Партнеры
- Элементы установок
- Публикации
- Гранты и проекты
- Контакты
- Выставки
- Участие в конференциях
Модуль активации газовых потоков
22/11/2013 KV
Позволяет активировать непрерывные и импульсные газовые потоки на различных расстояниях от газового источника, генерировать возбужденные, ионизованные частицы и радикалы, инициировать химические реакции в низкотемпературных газовых струях с помощью самостоятельного или несамостоятельного разряда, внешних источников электронов.
Модуль оснащен источником электронов производства ОАО SELMI(г. Сумы) с косвенным подогревом эмиттера на основе гексаборида лантана.
Предназначен для ионизации потока различных газов: аргон, азот, криптон, двуокись углерода, метан и других.
Рабочий вакуум в зоне ионизации - 5*10-2 – 1*10-6 Торр;
Рабочий вакуум в области катода - менее 1*10-6 Торр;
Энергия электронов в пучке – 10- 50 КэВ;
Ток в пучке - до 500 мА
Электронно-оптическая система на основе источника электронов с плазменным катодом производства ООО Элион (г. Томск). Предназначена для ионизации потока различных газов: аргон, азот, криптон, двуокись углерода, метан и других.
Рабочий вакуум в зоне ионизации - 5*10-2 – 1*10-6 Торр;
Рабочий вакуум в области катода - менее 1*10-4 Торр;
Энергия электронов в пучке – 7- 10 КэВ;
Ток в пучке - до 100 мА
Рабочие газы: азот, аргон, гелий, водород.