Модуль активации газовых потоков
Позволяет активировать непрерывные и импульсные газовые потоки на различных расстояниях от газового источника, генерировать возбужденные, ионизованные частицы и радикалы, инициировать химические реакции в низкотемпературных газовых струях с помощью самостоятельного или несамостоятельного разряда, внешних источников электронов.
Модуль оснащен источником электронов производства ОАО SELMI(г. Сумы) с косвенным подогревом эмиттера на основе гексаборида лантана.
Предназначен для ионизации потока различных газов: аргон, азот, криптон, двуокись углерода, метан и других.
Рабочий вакуум в зоне ионизации - 5*10-2 – 1*10-6 Торр;
Рабочий вакуум в области катода - менее 1*10-6 Торр;
Энергия электронов в пучке – 10- 50 КэВ;
Ток в пучке - до 500 мА
Электронно-оптическая система на основе источника электронов с плазменным катодом производства ООО Элион (г. Томск). Предназначена для ионизации потока различных газов: аргон, азот, криптон, двуокись углерода, метан и других.
Рабочий вакуум в зоне ионизации - 5*10-2 – 1*10-6 Торр;
Рабочий вакуум в области катода - менее 1*10-4 Торр;
Энергия электронов в пучке – 7- 10 КэВ;
Ток в пучке - до 100 мА
Рабочие газы: азот, аргон, гелий, водород.