Система точной ионной полировки (PIPS) GATAN Model 691

22/11/2013 KV

Система PIPS™ фирмы GATAN модель 691 – это самостоятельная, компактная, настольная система, разработанная для создания высококачественных образцов с исключительно большими, чистыми, электронно-прозрачными областями.  Система PIPS

имеет полностью ручное управление, что предельно повышает ее надежность и простоту в обслуживании. Одним из важных преимуществ данной системы является  простота установки и использования, что позволяет пользователям быстро начать работу и сразу получить результат. Данная модель оснащена цифровой ПЗС-камерой для наблюдения процесса травления образца на телемониторе в процессе ионного травления образца.  Ионная полировка производится двумя ионными пушками с изменяемыми углами атаки.

 

 

Параметр

Характеристика

1

Ионные пушки

две ионные пушки Пеннинга с миниатюрными постоянными редкоземельными магнитами

2

Угол травления

от +10° до -10°, угол наклона каждой ионной пушки может регулироваться независимо

3

Энергия ионного пучка

 1,5 кэВ  - 6 кэВ

4

Плотность ионного тока

10 мA/см2 (пиковое значение)

5

Диаметр пучка

350 мкм (ширина на полувысоте интенсивности) при 5 кэВ, 800 мкм (ширина на полувысоте интенсивности) при 5 кэВ для пушек с широким ионным пучком

6

Юстировка пучка

прецизионная юстировка пучка с помощью флюоресцентного экрана

7

Крепление образцов

запатентованный держатель DuoPost

8

Рабочий газ

Аргон высокой степени очистки  (99,998%)
»