- Главная
- Об отделе
- Структура
- Лаборатория акусто- и электрооптики
- Лаборатория гидродинамики дисперсных систем
- Лаборатория ионно-кластерных технологий
- Лаборатория конверсионных технологий
- Лаборатория молекулярной кинетики
- Лаборатория низкотемпературной плазмы
- Лаборатория синтеза функциональных материалов
- Лаборатория редкоземельных материалов
- Лаборатория теплообмена и топливной энергетики
- Центр коллективного пользования
- Персоналии
- Оборудование
- ЛЭМПУС - 1
- ЛЭМПУС - 2
- КЛИУС
- Плазмохимический стенд
- Гидродинамический стенд
- Хромато-масс-спектрометр
- ЦХРС
- Гелиевый течеискатель MSE - 2000A
- Эксимерный лазер Coherent COMPexPro 50
- Атомно-адсорбционный спектрометр
- Атомно-эмиссионный спектрометр
- ИК-Фурье спектрометр
- Планетарная мельница серии
- Рентген-флюоресцентный энергодисперсионный спектрометр
- Система точной ионной полировки (PIPS) GATAN Model 691
- Универсальный Газовый анализатор UGA-200
- Хроматограф газовый Agilent 7890A CG
- Электронный микроскоп ТМ-1000
- Микровизор μVizo®-101
- Атомно-силовой микроскоп
- Установка роста кристаллов методом управляемого теплового потока
- Установка роста кристаллов низкоградиентным методом
- Установка поликристаллического синтеза
- Микросайзер-201А
- Ocean Optics USB4000-XR1-ES
- SteREO Discovery.V20
- Изостатический пресс AIP6-30H
- Партнеры
- Элементы установок
- Публикации
- Гранты и проекты
- Контакты
- Выставки
- Участие в конференциях
Эксимерный лазер Coherent COMPexPro 50
06/11/2010 KV
эксимерная лазерная система Compex Pro 50 (193, 248 nm, 150 mJ, Coherent, Germany); предназначенная для мягкой ионизации молекулярных пучков в детекторе времяпролетного масс-спектрометра RTOF - 300, а также для инициации фотоионизационных
и фотодиссоциативных процессов в сверхзвуковых газовых потоках.
Характеристика |
ArF |
KrF |
Номинальная длина волны |
193 нм |
248 нм |
Макс. частота повторения |
50 Гц |
50 Гц |
Макс. энергия импульса |
100 мДж |
150 мДж |
Макс. средняя мощность |
4 Вт |
7 Вт |
Стабильность энергии импульсов |
2% |
1% |
Длительность импульса |
15 нс |
20 нс |
Вертикальный размер пучка |
14 мм |
14 мм |
Горизонтальный размер пучка |
5 мм |
5 мм |
Вертикальная дивергенция пучка |
2 мрад |
2 мрад |
Горизонтальная дивергенция пучка |
1 мрад |
1 мрад |
Горизонтальная поляризация |
не поляризованный |
не поляризованный |
»
- Войдите на сайт для отправки комментариев