- Главная
- Об отделе
- Структура
- Лаборатория акусто- и электрооптики
- Лаборатория гидродинамики дисперсных систем
- Лаборатория ионно-кластерных технологий
- Лаборатория конверсионных технологий
- Лаборатория молекулярной кинетики
- Лаборатория низкотемпературной плазмы
- Лаборатория синтеза функциональных материалов
- Лаборатория редкоземельных материалов
- Лаборатория теплообмена и топливной энергетики
- Центр коллективного пользования
- Персоналии
- Оборудование
- ЛЭМПУС - 1
- ЛЭМПУС - 2
- КЛИУС
- Плазмохимический стенд
- Гидродинамический стенд
- Хромато-масс-спектрометр
- ЦХРС
- Гелиевый течеискатель MSE - 2000A
- Эксимерный лазер Coherent COMPexPro 50
- Атомно-адсорбционный спектрометр
- Атомно-эмиссионный спектрометр
- ИК-Фурье спектрометр
- Планетарная мельница серии
- Рентген-флюоресцентный энергодисперсионный спектрометр
- Система точной ионной полировки (PIPS) GATAN Model 691
- Универсальный Газовый анализатор UGA-200
- Хроматограф газовый Agilent 7890A CG
- Электронный микроскоп ТМ-1000
- Микровизор μVizo®-101
- Атомно-силовой микроскоп
- Установка роста кристаллов методом управляемого теплового потока
- Установка роста кристаллов низкоградиентным методом
- Установка поликристаллического синтеза
- Микросайзер-201А
- Ocean Optics USB4000-XR1-ES
- SteREO Discovery.V20
- Изостатический пресс AIP6-30H
- Партнеры
- Элементы установок
- Публикации
- Гранты и проекты
- Контакты
- Выставки
- Участие в конференциях
ExTorr XT300M
13/11/2010 KV
Диапазон регистрируемых масс для XT300, XT300M |
1 - 300 а.е.м. |
Тип массового фильтра |
квадрупольный |
Разрешение |
лучше чем 1 а.е.м. на пике 10%, настраиваемое |
Рабочее давление |
от атмосферного до сверх высокого вакуума (ионный датчик вакуума работает при давлениях ниже 10-2 Торр, газоанализатор работает при давлениях ниже 10-3 Торр и электронный умножитель при давлениях ниже 10-6Торр) |
Тип датчика парциальных давлений |
чаша Фарадея |
Чувствительность измерения парциального давления (А/Торр) |
5 х 10-4 в чаше Фарадея. Для азота (28 а.е.м.), при ширине пика 1 а.е.м., высоте пика 10%, энергии электронов 70 эВ, энергии ионов 6 эВ и токе эмиссии электронов 2 мА |
Минимальное измеряемое парциальное давление |
5 х 10-14 Торр при работе с электронным умножителем. Для азота (28 а.е.м.), при ширине пика 1 а.е.м., высоте пика 10%, энергии электронов 70 эВ, энергии ионов 6 эВ и токе эмиссии электронов 2 мА. 5 х 10-11 Торр при работе только с чашей Фарадея. |
Тип встроенного низковакуумного датчика |
Пирани |
Тип встроенного высоковакуумного датчика |
Баярда-Альперта |
Максимальная рабочая температура блока электроники |
70 0С |
Тип датчика температуры в блоке электроники |
встроенный твердотельный датчик для постоянного контроля и отображения температуры блока управления |
Температура отжига |
350 0С (без блока электроники) |
Максимальная рабочая температура зонда |
100 0С, зонд оснащен платиновым резистивным датчиком температуры, температура зонда постоянно контролируется и отображается |
Конструкция ионизатора |
открытый ионный источник, ионизация электронной бомбардировкой |
Материалы зонда |
нержавеющая сталь AISI304, ковар, вольфрам, оксид алюминия, иридий, медь, никель |
Нить накала |
двойная иридиевая, покрытая торием, с программной защитой |
Дегазация |
функция встроена в прибор, 1-30 Вт |
Энергия электронов |
10 - 150 В, параметр непрерывно программно контролируется |
Энергия ионов |
3 - 10 В, параметр непрерывно программно контролируется |
Ток эмиссии электронов |
0,1 - 5 мА, параметр непрерывно программно контролируется |
Монтажный фланец для зонда |
CF40, минимальный внутренний диаметр присоединительного патрубка 35 мм |
Габаритные размеры блока управления |
3,3" x 4,8"x 7,5", блок электроники легко снимается для отжига зонда |
Стабильность измерения масс |
+/- 0,1 а.е.м. после 30 мин работы |
Цифровой интерфейс |
RS-232C, 9600-115200 бод |
Программное обеспечение |
Совместимое с Windows 2000/XP |
Питание |
24 В постоянного тока, 2,1 А, стандартный сетевой адаптер в комплекте |
Масса |
2,3 кг |
»
- Войдите на сайт для отправки комментариев