Ионный источник с замкнутым дрейфом электронов

Ионный источник с замкнутым дрейфом электронов

Рабочие газы: аргон, азот, гелий, водород, кислород, метан. Диапазон  рабочих давлений ионного источника установленного в вакуумную камеру от 1*10^-4 торр до 2,5*10^-3 торр.

Напряжение разряда  регулируемое  от 500 до 5000В:

Средняя энергия электронов              от 250 до 2500 эВ.

в зависимости от расхода рабочего газа и давления в рабочей камере.

Ток разряда не менее  100 ма.