Hiden Analytical EPIC Серия 1000

Квадрупольный Масс-спектрометр с тройным фильтром для аналитических применений. Квадрупольные масс-спектрометры Hiden EPIC для высокоточных научных исследований, анализа положительных и отрицательных ионов, нейтралей и радикалов в широком диапазоне применений, включая изучение таких процессов как электронно-стимулированное осаждение, фотон стимулированное осаждение и термическое осаждение. Мощный микропроцессор Hiden HALV обеспечивает скорость развертки до 500

каналов/секунду, а встроенная программа синхронизации позволяет совместить данные масс-спектрометрии с сигналами встроенной системы ввода/вывода, например, с термопарами.

Предусмотрены следующие возможности:

• Анализ положительных ионов
• Анализ отрицательных ионов
• Анализ энергии зараженных частиц за счет развертки потенциала квадруполя +/-100V (+/-1kVопциально)
• Масс-спектрометрия потенциала появления (AP-MS)
• Масс-спектрометрия диссоциативного прилипания электронов (DEA-MS)
• Измерения с временным разрешением до 100нс. Генераторы задержки и стробирующего сигнала полностью интегрированы с системой управления.

Масс-спектрометр представляет собой прецизионный прибор, состоящий из квадрупольного масс-фильтра с тремя квадрупольными секциями с независимым ВЧ питанием, сверхвысоковакуумным ионизатором с двойным катодом,

покрытым оксидом иридия, и канальным умножителем со счетным режимом работы и динамическим диапазоном 10⁷ .