Сборка КЛастерно-Ионной-УСтановки

Сборка КЛИУС подходит к логическому завершению, на данный момент все компоненты поступили, проведён монтаж камеры и монтаж управляющей стойки. Подключены коммуникации и собраны электрические магистрали.

В начале следующего месяца ожидается введение установки для кластерно-ионной полировки в плановую эксплуатацию. Планируем начать с проверки на вакуум и испытания новых турбомолекулярных насосов фирмы Edwards.