Эксимерный лазер Coherent COMPexPro 50
эксимерная лазерная система Compex Pro 50 (193, 248 nm, 150 mJ, Coherent, Germany); предназначенная для мягкой ионизации молекулярных пучков в детекторе времяпролетного масс-спектрометра RTOF - 300, а также для инициации фотоионизационных
и фотодиссоциативных процессов в сверхзвуковых газовых потоках.
Характеристика |
ArF |
KrF |
Номинальная длина волны |
193 нм |
248 нм |
Макс. частота повторения |
50 Гц |
50 Гц |
Макс. энергия импульса |
100 мДж |
150 мДж |
Макс. средняя мощность |
4 Вт |
7 Вт |
Стабильность энергии импульсов |
2% |
1% |
Длительность импульса |
15 нс |
20 нс |
Вертикальный размер пучка |
14 мм |
14 мм |
Горизонтальный размер пучка |
5 мм |
5 мм |
Вертикальная дивергенция пучка |
2 мрад |
2 мрад |
Горизонтальная дивергенция пучка |
1 мрад |
1 мрад |
Горизонтальная поляризация |
не поляризованный |
не поляризованный |
- Login to post comments