Заседание семинара “Получение, исследование и применение низкотемпературной плазмы”

23 декабря 2013 г. в 10 час. в конф. зале ИНХС РАН состоится 426 заседание семинара “Получение, исследование и применение низкотемпературной плазмы” имени профессора Л.С. Полака (119991, Москва, Ленинский проспект, 29, ИНХС РАН, тел. (495) 955-4322, e-mail: lebedev@ips.ac.ru), http://www.ips.ac.ru/plasma/

!!! Семинар состоится в конф.зале (6 этаж), расположенном в корпусе, выходящем на Ленинский проспект (вход в корпус со двора справа от центрального входа в углу)

«Плазменная технология нанопористых диэлектрических (low-k) материалов».

В программе семинара следующие доклады:

1.      Лопаев Д.В. (Москва) “ Проблемы межслойных эл. соединений в технологии СБИС уровня 10-16 нм. Что такое нанопористые low-kматериалы? Особенности использования и вызовы плазменной технологии low-k пленок”

2.      Лопаев Д.В. (Москва) “ Роль активных частиц плазмы в деградации low-k диэлектриков: радикалы, ВУФ фотоны, энергичные ионы”